簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Lithography".ekeyword (精準) and year="110"


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    基於適應性預測模型之光罩圖案設計
    • 自動化及控制研究所 /110/ 碩士
    • 研究生： 郭鎧瑜   指導教授： 郭鴻飛
    • 在記憶體DRAM製造的過程中，透過微影製程技術將設計之光罩轉印至光阻為一項至關重要的技術，但隨著線寬持續微縮，193nm浸潤式微影製程上達到物理極限，必須透過解析度增強技術(Resolution E…
    • 點閱：396  下載：0 
    • 全文公開日期 2024/09/16 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/16 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/16 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    基於蒙地卡羅演算法曝光能量規劃
    • 自動化及控制研究所 /110/ 碩士
    • 研究生： 黃敬勛   指導教授： 郭鴻飛
    • 微影製程是半導體產業不斷前進的重要技術，透過將微縮線路用光學投影在晶圓上，將特徵尺寸不斷縮小，而數位微影製程捨棄了對光罩的使用，能透過如數位微反射鏡(Digital Micromirror Devi…
    • 點閱：228  下載：0 
    • 全文公開日期 2024/09/16 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/16 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/16 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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